至纯科技：中芯国际与“至纯”的芯片制造工艺

发表时间：2020-07-06 18:22:52 作者：编辑部 来源：游戏王国 浏览：次

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原标题：至纯科技：中芯国际与“至纯”的芯片制造工艺

作为国内高纯工艺系统龙头，至纯科技（603690）是中芯国际高纯系统以及半导体湿法设备供应商之一，中芯国际重复购买至纯科技湿法设备，如今已有6台设备投入使用。伴随中芯国际开启新一轮资本开支，公司作为设备提供商有望直接受益其扩产需求。

与中芯国际的“爱恨纠缠”

根据至纯科技公开信息，公司于今年4月引入中芯涌久作为战略投资者。且公司此前参与投资的产业投资基金聚源芯星，也作为战略投资者认购中芯国际集成电路制造有限公司在科创板首次公开发行的股票。

值得注意的是，中芯涌久、聚源芯星的基金管理人均为中芯聚源，从公开信息可知，中芯聚源为中芯国际的投资平台。

至此，至纯科技与中芯国际已经形成实际上的双向战略投资，有望助推公司半导体业务发展。现阶段，中芯聚源投资的半导体企业已形成了庞大的产业资源库及平台优势，有望在供应链国产化、业务合作、投资孵化、产业布局等方面为至纯科技提供机会和专业支持。

行业龙头地位愈发明显

至纯科技主要从事高纯工艺系统和半导体湿法清洗设备业务。据悉，高纯工艺系统的核心是系统设计，系统由专用设备、侦测传感系统、自控及软件系统、管阀件等组成；系统的前端连接高纯介质储存装置，系统的终端连接客户自购的工艺生产设备。

如今，至纯科技在董事长，原行业龙头美国凯耐第斯的中国区营销总监蒋渊的带领下，2012年至2019年实现高纯工艺系统收入从1.37亿元增长到6.37亿元，复合增速为25%，是公司现金流稳健增长的主要业务板块。

高纯工艺系统能将制程所需的高纯介质从源头稳定传输至终端设备，同时保证高纯介质不会因吸附气体和水分、脱放气、产生颗粒等原因受到污染，使介质满足生产工艺的纯度要求，属于特定行业的系统集成业务，是制造业企业新建厂房和生产线中固定资产投资的重要组成部分，约占其固定资产投资总额的5%至8%。

因至纯科技高纯工艺系统所处行业的特点，决定了公司客户选择系统供应商时较为谨慎，所以客户粘性高，而且行业内技术领先且具有承接大项目实力与经验的本土企业较少，呈现出高等级市场集中度较高（主要为国外龙头）、低等级市场较为分散的竞争格局，如今至纯科技在国内该行业中龙头地位愈发明显。

公司2018年完成的上海华力12英寸28纳米先进工艺产线的建设，直接确立公司在国内高纯工艺领域的龙头地位，高纯工艺系统的新增业务订单总额达8亿元，在细分市场具有较强竞争实力。

经过不懈努力，至纯科技如今拥有243项专利权，59项核心技术，其中包括36项高纯工艺系统业务相关核心技术。公司目前已完成多项高纯工艺系统核心设备及相关控制软件的研发，通过使用自制设备与软件替代外购。

如今，至纯科技工艺水平已能够实现PPB（十亿分之一）级的不纯物控制，获得了客户的广泛认可。据悉，高纯工艺系统主要下游为医疗、光伏、半导体等，订单增长与下游客户的固定资产投资紧密相关。

目前公司高纯工艺系统已经切入一线用户，用户有中芯国际、华虹、华润、士兰微、长江存储、长鑫存储、海力士，三星，台积电，力晶等等，是下游行业的领先者。

“至纯”工艺，为半导体保驾护航

芯片制作过程中，不规则的杂质例如颗粒污染物、残留化学物质或其他污染物会降低芯片制造良率，这时就需要清洗工艺去除芯片制造中上一道工序所遗留的各类污染物，提升产品良品率。

芯片制造工艺越高，对制造过程中清洗工艺的要求越高，芯片尺寸越低，高效的清洗越难以实现，每个晶片在整个制造过程中甚至需要完成超过200道清洗步骤，晶圆清洗变得更加复杂、重要及富有挑战性。

根据SEMI的数据，2017年全球半导体设备的市场空间约在566.2亿美元，清洗设备市场空间约为32.3亿美元。清洗设备占到全部半导体设备投资的6%。

或许是瞄准了这一新兴细分产业，至纯科技于2017年成立了独立的半导体湿法事业部，致力打造高端湿法设备制造开发平台。目前已经具备生产8至12寸高阶单晶圆湿法清洗设备和槽式湿法清洗设备的相关技术，能够覆盖包括晶圆制造、先进封装、太阳能在内多个下游行业的市场需求，公司湿法清洗设备已获得了中芯、万国、TI、燕东、华润等用户的正式订单，截止2019年末，至纯科技累计已取得近40台正式订单，已完成近20台设备装机。

从公开信息可知，2018年湿法工艺设备的新增业务订单总额达到1700万美元（合人民币1.1亿元），2019年湿法工艺装备新增订单总额达1.7亿元，对于至纯科技该业务未来的业绩，览富财经网将继续关注。游戏网

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