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原标题:上海光刻机如今发展得怎么样了?2007年量产90nm,现在还是90nm
近几年来,我国的科技水平不断快速提高,在很多领域已经突破了许多西方国家的技术封锁。但是,在芯片制造领域,我国的短板在于光刻机,与国外先进技术有一定的差距,缺乏制造高端芯片的核心技术,从而长期依赖国外进口,每年进口的芯片都达到几万亿元。
光刻机作为制造芯片过程当中一个非常关键的环节,直接决定了芯片的制程和质量。那么,我国目前制造光刻机的技术究竟到达什么水平?与最先进的光刻机相差多少?

中国最早的光刻机与现在的光刻机水平似乎进步不大
公开资料显示,上海微电子成立于2002年,2007年就研发成功了国内首台90nm工艺光刻机。同时,近十几年来,我国一直在致力于研究光刻机,但是取得的成果不容乐观。如今,13年后,国产光刻机企业还是停留在90nm工艺光刻机,跟ASML、尼康等具备28nm以上工艺光刻机的企业相比,差距还是比较大的,尤其是跟asml7nmEUV的差距更大。

我国的90nm与最先进的28nm相比,发展得很慢
表面上看,90nm跟28nm或者是7nm从数字上来看差距不是很大,但实际上这里面是千差万别的,光刻机每上一个台阶技术难度就会大大增加,可能从90nm升级到65nm并不难,但是从65nm升级到45nm,就是一个技术节点了,45nm的光刻机技术明显要比90nm和65nm难很多,至于28nm、14nm和7nm,甚至未来有可能出现的3nm,那难度就更大了,也正因为如此,我国的光刻机的研发进度一直都比较缓慢。

但没有放弃,一直在力挽狂澜
据最新消息,上海微电子继续创新技术,在之前90nm的基础上,宣布在2021年交付国产第一台28nm光刻机,虽然与当前主流荷兰的7nm芯片制备工艺还有大的差距,但也标志着国产光刻机在不断攻克技术难点,减少与荷兰ASML公司差距。
总之,虽然我们的技术跟别人相比还有很大的差距,但要坚信:只要我们不放弃,奋起直追,就会有成功突破的可能,那超越西方之路还会遥远吗?游戏网
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